ん？/ATオプションってPC-98版WindowsでCを起動としたくてインストする際に使うオプションですよね・・？？何もしなくてもCにインストされるのでは？そもそも、cabs群をHDD内のどこ(○ドライブ)に落としていますか？

ＨＤＤの先頭ドライブからDOSで起動（このときはAドライブになってる）
パスsetup /atを実行インストール後リブートするとCドライブとして認識されて起動
で良かったかな？

ご助言ありがとうございます。質問の仕方が悪いようですね。
まず、ＨＤＤは、１パーティションにしています。サイズは、２ＧＢのＦＡＴ３２です。
ＦＤで起動した後、ＦＯＲＭＡＴ、ＳＹＳ Ｂ： でシステム転送を行い、
このＨＤＤにＷＮＤＯＷＳフォルダ、その下にＯＰＴＩＯＮＳ￥フォルダその下にＣＡＢＳフォルダを作成しました。
ＣＡＢＳフォルダに、バックアップＣＤ−ＲＯＭの中にあるＷｉｎｄｏｗｓ￥Ｏｐｔｉｏｎｓ￥Ｃａｂｓフォルダのファイル全てをコピーしました。
次に、ＨＤＤより起動し、Ａ：￥Ｗｉｎｄｏｗｓ￥Ｏｐｔｉｏｎｓ￥Ｃａｂｓフォルダで、ＳＥＴＵＰ ／ＡＴを実施しました。
システムの調査、コピーが終了し、再起動の段階で、起動しなくなります。
ＤＯＳプロンプトも表示されない状況です。
（／ＡＴ オプションをつけないと、勝手にインストールオプションとか設定されて、再起動後、最後に利用者名、シリアルナンバーの入力を求められます。）
再度、ＦＤ起動し、ＳＹＳ Ｂ：でシステム転送してみると、ＨＤＤは、Ａドライブとして起動します（当然ですが・・）。その際、ＣＯＮＦＩＧ．ＳＹＳでエラーが表示されます。ドライバが、Ｃドライブで記述されている為でした。ＨＤＤ内には、コピーされた残骸が残っていました。（どれも正常にコピーされていたようですが・・・）

何か、お気づきの点がありますでしょうか？

あっ！Ｖ１６６って、PC-98じゃん・・。
すいません、NXのVS16と勘違いしました・・。f^^;

>Ｗｉｎｄｏｗｓ９５のインストール
>ＦＡＴ３２です
Win95のバージョンは何でしょうか？FAT32が使えまるパージョンですか？

＞ＭＳＢＡＴＣＨ．ＩＮＦを削除してみましたが、変りありませんでした？
　いつ削除したんですか？

＞・・・￥Ｃａｂｓフォルダのファイル全てをコピーしました。
　CABSフォルダ内のMSBATCH.INFを削除しました。
＞次に、ＨＤＤより起動し、Ａ：￥Ｗｉｎｄｏｗｓ・・・

　でないと効果ありませんよ！

　V166の標準Win95は、OSR2なのでFAT32に対応しているはずです。

バージョンは、ＯＳＲ２です。起動ＦＤから、パーティションを作成しましたので、問題無いと思いますが・・・
諦めた方が、いいですかね？

いや、ＰＣ−９８のＷｉｎ９５は、どのバージョンでもＦＡＴ３２のドライブからの起動はできなかったと思うのですが・・・
ＳＹＳコマンドに／ＡＴオプションをつけるのはだめですか？
Ｗｉｎ９８ではＯＫです。
ただ、手元にＰＣ−９８のＷｉｎ９５が無いのでわかりませんが・・・

Win95ならSETUP /AT
Win98ならSYS /AT
じゃなかったかな？