＞起動前の電源ランプの点滅は確認できている
ということは、電源ユニットの5VSB系だけはとりあえず生きていますね。

意外と壊れるのが、電源スイッチの部分だそうです。
同じスイッチを使っていて、より後に発売されたmate-Rで
電源がうまく入らなかったり何もしていないのに突然電源が入ったりという現象が
電源スイッチの内部の接点の接触不良が原因で起こっているらしいという話が
最近ありました。(どるこむないの別の板だったかもしれませんが)

電源スイッチを押しても電源ランプが点滅したままであれば、電源スイッチの部分が壊れた可能性もあります。

そうでない場合は、電源ユニットが壊れたのかマザーが壊れたのか
それとも別に原因があるのかを、調べて原因を切り分ける必要があります。

tshさん。ご返答ありがとうございます。

＞電源スイッチを押しても電源ランプが点滅したままであれば、電源スイッチの部分が壊れた可能性もあります。
書き忘れてた現象として、電源ランプの点滅ですが、電源スイッチを押すと点滅が消えるというのがありました。
普通なら点滅が消えると同時に電源がONになるのですが・・・。

で、カバーを開けて配線を見てみると、電源スイッチと電源ユニット本体はマザーボードを介して繋がってるんですね。となるとやはり原因はマザーボードなのかなぁ。

何かの拍子でハングアップ状態となっているかもしれません。プラグをコンセントから抜き、１時間以上放置して完全放電させます。その後、再通電して様子を見ます。
これで復帰しなければ、ATX電源の不良と考えられます。200W級以上のATX電源と交換してみてはいかがでしょうか？
私も同様の不良に見舞われたことがあります。
M7は５インチベイが３つあり、ドライブを追加・拡張していきますとどうしても電源容量不足となります。特に12V回路は辛いです。今回が電源強化の良い機会かもしれません。

>で、カバーを開けて配線を見てみると、電源スイッチと電源ユニット本体は
>マザーボードを介して繋がってるんですね。となるとやはり原因はマザーボードなのかなぁ
マザーボード上の２ピンをつなげば電源がオンになる仕組みですから
電源スイッチが壊れているかの判別はマザーボード上のスイッチから繋がっている２ピンをマイナスドライバーなどで一時的にショートさせて動くかどうかでわかると思います
マザーボードやほかの部品にふれないように慎重に行うこと

これでも動かない場合は普通のATX電源を購入して付けてみるorほかのマシンからはずして使う。

ATX電源の仕様はATX Pentium4対応(などなど)で十分なはずです、RS-232Cや、一部Cバボードで使われている可能性のある-5V/-12Vが省略されている電源がありますので注意を